专业维修德国 SINGULUS 溅镀电源、美国 MKS/ENI 溅镀电源、ADVANCED ENERGY 、美国 AE 溅镀电源、RF 射 频电源、DC 直流电源、AC 交流电源。更专业的技术,更迅速的响应高速增长的等离子体薄膜制造工艺之尖端电源的维修。
主要维修 AE( Advanced Energy) 、 ENI ( MKS )等国际品牌 RF 射频电源及直流电源 。同时为各地区的半导体、数据存储、光电子、真空镀膜、平板显示、研究所等行业提供专家级射频电源维修保养。为 ENI/AE DC POWER & RF GENERATOR 提供维修维护服务。
Ion Beam Drive : ID-3500 、 ID-3501 、 IT-2500 、 IT-3500
DC( 直流系列 ) :
MDX Series: MDX 5 、 MDX 10 、 MDX 20 、 MDX 30 、 MDX-052 、 MDX 1K 、 MDX 1.5K 、 MDX 500 、 MDX Delta ; MDX II Series: MDX II 15kw(15-120KW) ; PINNACLE Series: Pinnacle 6KW 、 Pinnacle 12KW 、 Pinnacle 10KW 、 Pinnacle 20KW 、 Pinnacle 8KW 、 Pinnacle 15KW 、 PINNACLE 3000 ; PINNACLE PLUS+:Pinnacle Plus+ 5KW 、 Pinnacle Plus+ Dual output 5KW 、 Pinnacle Plus+ 10KW ; DIAMOND Series: Pinnacle Diamond 8KW 、 Pinnacle Diamond 10KW 、 Pinnacle Diamond 15KW ; MDX-L Series: MDX-L6 、 MDX-L 6kWHALO 、 MDX-L12 、 MDX-L 12M 、 MDX-L 12M 650 、 MDX-L18 ; SPARC Series: Sparc-le 20 、 Sparc-le V 、 Sparc VS ; E'Wave ; DC Pulsing Accessoires : DC PULSAR
AC( 交流 / 中频系列 ) :
PE: PE 1000 、 PE 2500 、 PE 3750 、 PE 5000 、 PE-10K 、 P E-20K 、 PE-30K 、 PE-1000SG ; PE II : PE II 5KW 、 PE II 10KW 、 PE II 60KW ; PDX : PDX 500 、 PDX 900-2V 、 PDX 1250 、 PDX 1400 、 PDX 2500 、 PDX 5000 、 PDX 7.5K 、 PDX 8000 、 PDZ 2200 、 MSD 350W ; PDW 600 、 PDW 2200 ; PDP 2500 、 PDP 3500 ; PEP 250 、 PEP 2500 、 PEP 5000 ; Dressler LFGS:LFGS 1250A 、 LFGS:LFGS 1250B 、 LFGS:LFGS 1250C 、 LFGS:LFGS 1250D