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<P> ——访上海微电子装备有限公司总经理贺荣明:</P> <P> 半导体设备特别是光刻机技术难度很大,它对整个国家的工业基础要求非常高,对国家创新能力及技术水平的提高作用很大,因此国家发展半导体设备装备产业的决策非常正确。 </P> <P> 但是,由于不同的设备制造难度、自身特点及市场规律不同,会存在不同的发展策略和思路,因此做法上不能千篇一律。每个公司的发展策略不同,我们现在强调的是,第一不能做假,第二要勇于创新。我们想建一座高楼大厦,隐蔽工程也就是地基要做得很扎实,只有地基深厚,微电子设备产业的大厦才能建得更高。 </P> <P> 发展半导体设备产业,应发展重点产品,不该面面俱到。尽管如此,只要有条件,前道后道设备国内企业都应该做,这是不矛盾的。前道和后道设备特性不一样,应该由不同的设备厂商去突破,在时间上可以同时进行,也可以交叉。我们不是从单一的设备谈起,而是纵览整个半导体设备产业的全局,所以要按一定规律布点,如果产品做得过于单一,氛围、气候和规模效应就会差一些。 </P> <P> 众所周知,目前中国是全球IC产业发展最快的国家,因此对集成电路设备的需求与日俱增,可以说,国内半导体设备产业的市场前景很广阔。但由于设备是一个技术门槛很高、用户要求很苛刻的产业,因此要真正打造一个精品还要走很长、很艰辛的路,但往往越是艰难的路,越是有价值的路。 </P> <P> 我们公司一直坚持以下几个方面:第一,坚持创新的方向与开放的心态相结合。我们非常鼓励自主创新,这种创新又很开放,会和国内外优质资源进行很好地融合与合作。 </P> <P> 第二,从研究工作开始,就以面向市场作成产品为目标。光刻机这种关键设备进入大生产线要有一个很漫长的考核、使用、优化设计过程,用户对设备厂商的态度是一视同仁的,当你还是一个婴儿的时候,对用户来讲,他也会把你当成成人看待。这个过程不能要求婴儿本身变成一个成人,只能要求环境更宽容,为他创造更好的条件,让婴儿尽快长大成人,这是政府和行业主管部门要做的。对设备业给予政策和资金上的支持,再加上用户对国内设备厂商的支持,国内半导体设备产业的发展壮大便指日可待了。</P>