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传感器技术是现代科技的前沿技术,是现代信息技术的三大支柱之一,其水平高低是衡量一个国家科技发展水平的重要标志之一。传感器产业也是国内外公认的具有发展前途的高技术产业,它以其技术含量高、经济效益好、渗透能力强、市场前景广等特点为世人瞩目。<BR><BR> 改革开放20多年来,我国的传感器技术及其产业取得了长足进步,主要表现在:一是建立了“传感技术国家重点实验室”、“微米/纳米国家重点实验室”、“国家传感技术工程中心”等研究开发基地;二是MEMS、MOEMS等研究项目列入了国家高新技术发展重点;三是在“九五”国家重点科技攻关项目中,传感器技术研究取得了51个品种86个规格的新产品;四是初步建立了敏感元件与传感器产业,2000年总产量超过13亿只,品种规格已有近6000种,并已在国民经济各部门和国防建设中得到一定应用;五是全国已有1688家企事业单位从事传感器的研制、生产和应用,其中从事MEMS研制生产的已有50多家。目前全行业正在执行“十五”计划,MEMS等5项新型传感器已列入研究开发的重点。<BR><BR> 2004年上半年,产品产销量继续增长,预计到“十五”期末,敏感元器件与传感器年总产量可望达到20亿只,销售总额将达约120亿元,从而初步形成了电子制造业中的经济增长点。<BR><BR> 特点:两依附两密集 两分散<BR><BR> 传感器技术及其产业的特点是:基础、应用两头依附;技术、投资两个密集;产品、产业两大分散。<BR><BR> 基础、应用两头依附<BR><BR> 基础依附是指传感器技术的发展依附于敏感机理、敏感材料、工艺设备和计测技术这四块基石。敏感机理千差万别,敏感材料多种多样,工艺设备各不相同,计测技术大相径庭,没有上述四块基石的支持,传感器技术难以为继。<BR><BR> 应用依附是指传感器技术基本上属于应用技术,其开发多依赖于制成检测装置和自动控制系统加以应用,才能真正体现出它的高附加效益并形成现实市场。也即发展传感器技术要以市场为导向,实行需求牵引。<BR><BR> 技术、投资两个密集<BR><BR> 技术密集是指传感器在研制和制造过程中技术的多样性、边缘性、综合性和技艺性。它是多种高技术的集合产物。由于技术密集也自然要求人才密集。投资密集是指研究开发和生产某一种传感器产品要求一定的投资强度,尤其是在工程化研究以及建立规模经济生产线时,更要求较大的投资。<BR><BR> 产品、产业两大分散<BR><BR> 产品结构和产业结构的两大分散是指传感器产品门类品种繁多(共10大类、42小类近6000个品种),其应用渗透到各个产业部门,它的发展既有各产业发展的推动力,又强烈地依赖于各产业的支撑作用。只有按照市场需求,不断调整产业结构和产品结构,才能实现传感器产业的全面、协调、持续发展。<BR><BR> 面临新挑战和新机遇<BR><BR> 传感器产业面临的挑战来源于人类社会迫切要求改变信息摄取的落后现状。传感技术的落后已成为影响自动化业发展的瓶颈。<BR><BR> 我国众多自动化方面的专家呼吁:目前复杂系统越来越复杂,自动化已经陷入低谷,其主要原因之一是传感技术的落后,一方面表现为传感器在感知信息方面的落后;另一方面也表现为传感器自身在智能化和网络化方面的技术落后。<BR><BR> 另外,分析仪器产业迫切需要新型传感器。分析仪器是我国科技、经济和社会持续发展的基础,无论在工业过程控制、设施农业、生物医学、环境控制、食品安全乃至航空航天、国防工程等领域,均迫切需要各类新型传感器作为信息摄取源的小型化、专用化、简用化、家庭化(甚至个人化)的新一代分析仪器,实现更灵敏、更准确、更快速、更可靠地实时检测,以迅速改变我国分析仪器的落后状况。<BR><BR> 而技术推动是加速传感器技术发展的保证和机遇。几十年来,以微电子技术为基础,促进了传感器技术的发展。未来10~20年,传统硅技术将进入成熟期(预测为2014年~2017年)。届时,φ300mm硅晶片将大量用于生产,使得硅的低成本制造技术和硅的应用技术将得到空前的发展,这无疑将为研制生产微型传感器、智能传感器等新型传感器提供技术保障。从总体发展看,传统硅技术将一直延续到2047年(即晶体管发明100周年)才趋于饱和(即达到芯片特征尺寸的极限)和衰退。而当前微电子技术仍将依循“等缩比原理”和“摩尔定律”两条基础规律走下去,在尽力逼近传统硅技术极限中,不断扩展硅的跨学科横向应用(如MEMS等)和突破“非稳态物理器件”(量子、分子器件),而上述微电子技术发展中的两大方向正是当前乃至未来20年传感器技术的主要发展方向。<BR><BR> 同时,多学科、多种高新技术的交叉融合,推动了新一代传感器的诞生与发展。例如:当前我国正在重点开发的MEMS(微电子与微机械的结合)、MOMES(MEMS与微光学的结合)、智能传感器(MEMS与CPU、信息控制技术的结合)、生物化学传感器(MEMS与生物技术、电化学的结合)等以及今后将大力开发的网络化传感器(MEMS网络技术的结合)、纳米传感器(纳米技术与传感技术的结合)均是多学科、多种学科技术交叉融合的新一代传感器。<BR><BR> 呈现八大发展趋势<BR><BR> 一、传感器产业化发展模式:要加速形成从传感器研究开发到大生产一条龙的产业化发展模式,走自主创新和国际合作相结合的跨越式发展道路,使我国成为世界传感器的生产大国。<BR><BR> 二、传感器产品结构向全面、协调、持续发展。产品品种要向高技术、高附加值倾斜,尤其要填补“空白”品种。<BR><BR> 三、企业生产规模(年生产能力)向规模经济或适宜规模经济发展。量大面广的通用传感器的生产规模将以年亿只计,一些中档传感器的生产规模将以年产1000万只(含以上)计;而一些高档传感器和专用传感器的生产规模将以年产几十万只~几百万只计。<BR><BR> 四、生产格局向专业化发展。专业化生产的内涵为:1.生产传感器门类少而精;2.专门生产某一应用领域需要的某一类传感器系列产品,以获得较高的市场占有率;3.各传感器企业的专业化合作生产。<BR><BR> 五、传感器大生产技术向自动化发展。传感器的门类、品种繁多,所用的敏感材料各异,决定了传感器制造技术的多样性和复杂性。综观当前传感器工艺线的概况,多数工艺已实现单机自动化,但距离生产过程全自动化尚存在诸多困难,有待今后广泛采用CAD、CAM及先进的自动化装备和工业机器人,予以突破。<BR><BR> 六、企业的重点技术改造应加强从依赖引进技术向引进技术的消化吸收与自主创新的方向转移。<BR><BR> 七、企业经营要加快从国内市场为主向国内与国外两个市场相结合的国际化方向跨越发展。<BR><BR> 八、企业结构将向“大、中、小并举”、“集团化、专业化生产共存”的格局发展。