磁控溅射电源维修 PEII电源维修
产品详情
AE(Advanced Energy) 低频电源
PEII 低频系列
PEII 低频系列电源提供40 kHz 脉冲输出,具有增强的弧控制以及与高达60 kW 的输出功率,该系列电源具有极宽的匹配阻抗,无输出变压器等外部组合硬件,特别适用于反应溅射。
优点
●恒功率、电压或电流输出
●最高的灵活性与模块性
●强大的电弧控制
●自动制程保护装置
●极宽的祖抗匹配范围
●高功率密度
PEII 5000
●输入电压:180-230VAC,3Φ(接地)
●输出频率:40kHz±0.01%
●输出功率:5000W
●输出电压:547V RMS nominal in tap 4;953V RMS max in tap 7
●输出电流:9A RMS nominal in tap 4;16A RMS max in tap 1
●冷却方式:水冷,5-30℃,2gpm
●尺寸:177×482.6×495.3mm(高×宽×长)
●重量:40.8KG
PEII 10K
●输入电压:180-230VAC,3Φ(接地)
●输出频率:40kHz±0.01%
●输出功率:5000W
●输出电压:547V RMS nominal in tap 4;953V RMS max in tap 7
●输出电流:18 A RMS nominal in tap 4;32A RMS max in tap 1
●冷却方式:水冷,5-30℃,2gpm
●尺寸:177×482.6×495.3mm(高×宽×长)
●重量:40.8KG
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