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真空溅射镀膜电阻电源

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公司名称:苏州韦特克斯电子科技有限公司
所属类别:其他类>>其他
电子信箱:qianchunhong@riyipower.com
联系电话:15050129918
联 系 人:钱春洪
更新时间:2012-12-24 17:18:30
 
产品详情
  • 产品简介
    • 本公司生产的真空镀膜电源(真空蒸发镀膜电源和真空溅射镀膜电源
      有以下特点:1、恒压,恒功率
            2、抑制靶材弧光放电及抗短路功能, 具有极佳的负载匹配能力。
            3、工艺重复性好。
            4、提高成膜速度, 实现高质量的溅射膜层。

       
    • 技术参数
    •  
      品名
      真空镀膜电源
      型号
      SPWM系列
      输入
      相数
      单相或三
      电压
      220/380V
      频率
      50Hz
      输入方式
      4线(含地线)
      输出
      波形
      直线
      功率
      30KW /60KW /100KW(可定制)
      电压
      0—1200V(可定制)
      稳定度
      1%
      电流
      0—200A(可定制)
      稳定度
      ≤1%
      纹波及杂讯
      ≤5%3%
      效率
      90%
      控制
      功率
      可选择
      电压
      恒压控制,可本地控制也可通过0-10V4-20mA
      电流
      可选择
      保护
      具备缺相、过热、限压恒功率、过压、过流、短路、超载等保护功能
      冷却
      外型
      外壳
       
      尺寸(W*D*H)
      482.6mm*600mm*266.7mm30KW)   
      重量
      30KG(30KW) 
      备注
       
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