本公司生产的真空镀膜电源(真空蒸发镀膜电源和真空溅射镀膜电源)
有以下特点:1、恒压,恒功率
2、抑制靶材弧光放电及抗短路功能, 具有极佳的负载匹配能力。
3、工艺重复性好。
4、提高成膜速度, 实现高质量的溅射膜层。
品名 |
真空镀膜电源 | |
型号 |
SPWM系列 | |
输入 |
相数 |
单相或三相 |
电压 |
220/380V | |
频率 |
50Hz | |
输入方式 |
4线(含地线) | |
输出 |
波形 |
直线 |
功率 |
30KW /60KW /100KW(可定制) | |
电压 |
0—1200V(可定制) | |
稳定度 |
≤1% | |
电流 |
0—200A(可定制) | |
稳定度 |
≤1% | |
纹波及杂讯 |
≤5%或≤3% | |
效率 |
≥90% | |
控制 |
功率 |
可选择 |
电压 |
恒压控制,可本地控制也可通过0-10V或4-20mA | |
电流 |
可选择 | |
保护 |
具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、超载等保护功能 | |
冷却 |
风冷 | |
外型 |
外壳 |
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尺寸(W*D*H) |
482.6mm*600mm*266.7mm(30KW) | |
重量 |
30KG(30KW) | |
备注 |
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