2022年3月4日，中国–服务多重电子应用领域、全球排名前列的半导体公司意法半导体(STMicroelectronics，简称ST；纽约证券交易所代码:STM)推出其第三代MEMS传感器。新一代传感器助力消费类移动产品、智能工业、智能医疗和智能零售产品实现性能和功能新飞跃。

　　MEMS技术实现是稳健可靠的芯片级运动和环境传感器的基础技术，今天的智能手机和可穿戴设备依靠MEMS传感器实现直观的环境感知功能。现在，意法半导体新一代MEMS传感器将性能提升到了一个新的水平，输出数据准确度和功耗都突破了现有技术限制。新传感器可让活动检测、室内导航、精密工业感测等产品功能具有更高的测量准确度。同时，新一代传感器将耗电量控制得很低，以延长设备的续航时间。

　　部分产品还增加了额外功能，包括意法半导体的机器学习核心(MLC)和静电感测。MLC核心为低功耗边缘应用带来自适应机器学习功能。QVAR(电荷变化)感应通道是通过与智能手表或健身手环佩戴者的身体接触或借助非接触式感应(雷达)监测静电荷的变化。内置QVAR的ST MEMS传感器可以增强用户界面控制性能，确保人机交互顺畅无缝，或者简化水分和冷凝检测设计。雷达模式应用场景包括人员存在检测、活动监控和人数统计。

　　意法半导体MEMS市场总监Simone Ferri表示：“这一突破性的新一代产品基于ST在MEMS专业知识和工艺技术方面的大规模投资。除了彻底改变传感器的性能外，我们还通过增加静电感测和机器学习等选配功能扩展新一代传感器的功能组合。这一切让新一代传感器为Onlife做好了准备。所谓的Onlife就是通过始终存在、始终运行和始终连接的技术，以透明、无缝的方式改善我们的生活方式。”

　　新一代产品的首发产品是LPS22DF气压传感器和LPS28DFW防水型气压传感器，两款产品的工作电流都是1.7µA，绝对压力准确度为0.5hPa。LPS28DFW具有两个满量程，可以准确测量水下和水上的垂直位置。满量程可以选择，最高1260 hPa或4060 hPa，相当于约98英尺（30米）深度的水压。这些传感器增强了便携式设备和可穿戴设备(包括运动手表)的高度计和气压计性能。典型工业应用包括天气监测和精确水深监测设备。

　　新加入这个产品阵容还有LIS2DU12 3轴加速度计，这款专门设计的产品具有出色的超低功耗架构和主动抗混叠滤波功能。抗混叠滤波器的功耗在市场上处于领先水平。LIS2DU12在100Hz输出数据速率(ODR)时仅消耗3.5µA，是通用加速度计市场上首款具有I3C接口的产品。所有这些功能都整合在一个2.0 x 2.0 x 0.74mm的微型封装内。该加速度计非常适合可穿戴设备、助听器、TWS无线立体声耳机、无线传感器节点，以及必须做系统优化的任何应用。

　　LSM6DSV16X 6轴iNEMO惯性模块包含QVAR静电传感器以及可以提高响应性能、节省电能的MLC核心和有限状态机(FSM)。最小工作电流为12µA。新的FSM机支持自适应自我配置(ASC)。有了这个ASC功能，模块可以感知上下文，并重新自我配置，无需唤醒系统，从而额外节省了大量电能。该模块即将投入生产。在一个静电雷达演示应用中，采用该模块的用户存在预检功能可以加快唤醒笔记本电脑。

　　LPS22DF气压传感器采用2.0mm x 2.0mm x 0.73mm 10引脚LGA封装(已在eStore上架)，LPS28DFW气压传感器采用2.8mm x 2.8mm x 1.95mm 7引脚LGA封装(可在eStore申请免费样片)。两款都已量产。也可通过代理商购买。LIS2DU12和LSM6DSV16X计划2022年底投产。