安捷伦科技日前宣布推出基于Windows的半导体器件分析仪，把电容对电压测量(CV)及电流对电压测量(IV)集成到一台仪器中，使半导体测试工程师节约了时间，提高了生产效率。安捷伦B1500A为参数测试和分析提供了完整的可单机、可扩展解决方案，能够处理65纳米(nm)及更小光刻工艺技术。模块化仪器采用10插槽配置，支持安捷伦新推出的EasyEXPERT软件，提供了一个完整的器件检定方法。
新的EasyEXPERT软件提供了一个器件应用测试程序库，用户可以根据要求的测量类型进行选择。在进行几个简单的设置之后，如确认工艺类型，及选择适当的器件类型，软件便会选择相应的设置，进行测量，分析数据，以图形方式显示分析结果。通过使用基于Windows的EasyEXPERT软件，即使是新手也可以在B1500A开机几分钟后进行高效测量。
当检定同时要求进行IV和CV测量时，工程师面临着额外的挑战。然而大多数仪器只是为一种测量设计的，这意味着必须透过两个接口连接两种不同的仪器来进行测量。必需把电容测量单元(CMU)的连接线正确连接到被测器件(DUT)上，并精确补偿电缆长度，以保证精确的CV测量结果。此外，CMU采用BNC连接器，而电源测量单元(SMU)采用三轴连接器。在这些不兼容的连接器之间切换可能会非常困难、麻烦，特别是与芯片探针台上搭配使用时。
安捷伦B1500A提供了高度灵活性，帮助降低测试成本。其10插槽配置支持三种SMU类型：高分辨率SMU (HRSMU)、中等功率SMU (MPSMU)和高功率SMU (HPSMU)。安捷伦还提供一个多频率电容测量单元(MFCMU)，B1500A主机内接4.2A接地单元(GNDU)。
除把CV测量集成到器件分析仪主机外，MFCMU比类似的外部电容仪表提供更多的测量功能。它可以高达5 MHz的频率测量电容，提供了正负25V的DC偏置。此外，在同一部仪器中把MFCMU和SMU结合起来，使得这些测量资源能够更加紧密地结合在一起。在结合使用B1500A SMU CMU合一单元(SCUU)时，MFCMU和SMU组合支持正负100V的DC偏置的电容测量。
B1500A SCUU为把两部SMU和MFCMU连接起来、并在这些不同测量资源之间切换提供了一种方便智能的方式，而不需使用单独的外部开关矩阵仪器。B1500A软件处理所有IV-CV测量切换、补偿和返回路径状态。为着手进行精确测量，用户只需选择IV或CV算法，然后按一个键即可。
由本身具备的低电流、低电压和补偿电容测量功能，安捷伦B1500A可以用于半导体器件和新兴材料的各种检定需求，包括采用纳米工艺技术的器件。
B1500A的自动传感和开关单元(ASU)，提供了0.1 fA (100 attoamps)和0.5微伏的分辨率用以量测例如MOSFET Idoff和存储单元漏电检定等测量。工程师可以简便地通过ASU所连接到的高分辨率SMU和CMU时，作高精度IV和补偿CV测量之间的切换。
安捷伦B1500A半导体器件分析仪现已接受订货。基本4-SMU IV测量解决方案起价45,000美元，基本CV-IV测量解决方案起价58,000美元。以上价格仅供参考。预计该产品将在2005年8月发货。
新的EasyEXPERT软件提供了一个器件应用测试程序库，用户可以根据要求的测量类型进行选择。在进行几个简单的设置之后，如确认工艺类型，及选择适当的器件类型，软件便会选择相应的设置，进行测量，分析数据，以图形方式显示分析结果。通过使用基于Windows的EasyEXPERT软件，即使是新手也可以在B1500A开机几分钟后进行高效测量。
当检定同时要求进行IV和CV测量时，工程师面临着额外的挑战。然而大多数仪器只是为一种测量设计的，这意味着必须透过两个接口连接两种不同的仪器来进行测量。必需把电容测量单元(CMU)的连接线正确连接到被测器件(DUT)上，并精确补偿电缆长度，以保证精确的CV测量结果。此外，CMU采用BNC连接器，而电源测量单元(SMU)采用三轴连接器。在这些不兼容的连接器之间切换可能会非常困难、麻烦，特别是与芯片探针台上搭配使用时。
安捷伦B1500A提供了高度灵活性，帮助降低测试成本。其10插槽配置支持三种SMU类型：高分辨率SMU (HRSMU)、中等功率SMU (MPSMU)和高功率SMU (HPSMU)。安捷伦还提供一个多频率电容测量单元(MFCMU)，B1500A主机内接4.2A接地单元(GNDU)。
除把CV测量集成到器件分析仪主机外，MFCMU比类似的外部电容仪表提供更多的测量功能。它可以高达5 MHz的频率测量电容，提供了正负25V的DC偏置。此外，在同一部仪器中把MFCMU和SMU结合起来，使得这些测量资源能够更加紧密地结合在一起。在结合使用B1500A SMU CMU合一单元(SCUU)时，MFCMU和SMU组合支持正负100V的DC偏置的电容测量。
B1500A SCUU为把两部SMU和MFCMU连接起来、并在这些不同测量资源之间切换提供了一种方便智能的方式，而不需使用单独的外部开关矩阵仪器。B1500A软件处理所有IV-CV测量切换、补偿和返回路径状态。为着手进行精确测量，用户只需选择IV或CV算法，然后按一个键即可。
由本身具备的低电流、低电压和补偿电容测量功能，安捷伦B1500A可以用于半导体器件和新兴材料的各种检定需求，包括采用纳米工艺技术的器件。
B1500A的自动传感和开关单元(ASU)，提供了0.1 fA (100 attoamps)和0.5微伏的分辨率用以量测例如MOSFET Idoff和存储单元漏电检定等测量。工程师可以简便地通过ASU所连接到的高分辨率SMU和CMU时，作高精度IV和补偿CV测量之间的切换。
安捷伦B1500A半导体器件分析仪现已接受订货。基本4-SMU IV测量解决方案起价45,000美元，基本CV-IV测量解决方案起价58,000美元。以上价格仅供参考。预计该产品将在2005年8月发货。
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本文链接：安捷伦科技推出基于Windows的半导
http:www.cps800.com/news/2005-5/2005510152923.html
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