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日本开发出可集成微型热电式氢气传感器

　　日本产业技术综合研究所（产综研）开发出了可集成于半导体芯片的微型热电式氢气传感器。检测范围（空气中氢气的浓度）达到了0.5ppm～5%之间。用于氢气站等设施的泄露检测。今后将向有关机构提供传感器样品，力争将其应用于氢气设施中。

　　该传感器在热电转换式MEMS元件上形成了以陶瓷支撑材料的铂触媒图案。与过去的传感器相比，更能发挥铂触媒的性能，因而具有良好的灵敏度和耐用性。

　　新传感器由热电转换膜及其表面上部分形成的铂触媒膜组成，氢与触媒的发热反应引起的局部温差，利用热电转换膜转换为电压信号。因而，只要使用高性能的热电材料就可得到足以完成检测任务的信号。

　　采用催化反应和热电转换功能相结合的工作原理，将元件本身产生的电压转换成信号，不仅提高了可检测浓度范围，还不易受到外界温度的影响。

　　此次开发主要解决了在半导体晶圆上形成热电薄膜、触媒膜、电极、配线及加热器的传感器元件制造技术。同时，还提高了传感器的耐用性，降低了生产成本。

　　通过试验结果证实，新传感器性能十分稳定。此次采用普通半导体工艺，就将微型传感器集成到了硅底板上，因此该公司认为，将来还可集成处理传感器信号的电子线路，因此便于小型化，以及通过量产降低生产成本，实用潜力很大。

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编辑：Sepnova
  来源：中国仪器仪表资讯网

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