沈阳崛起IC装备企业群

    什么是IC？IC即集成电路，是电子设备中最重要的部分，承担着运算和存储的功能。IC装备是指生产半导体器件、集成电路芯片和平板显示器的专用生产设备。IC是计算机业、数字家电业、通信等行业的“心脏”。而生产“心脏”部件的设备————IC装备业，因占据了科技的制高点，被称为制造业的“珠穆朗玛峰”。

    我国彩电、手机、台式计算机、DVD播放机等产品的产量虽居世界第一，但关键芯片仍依赖进口。就单一产品而言，芯片已经成为我国进口总值最大的商品。IC产业是一个技术密集和资金密集的产业。说它小，IC产品可以比纸片薄，却比黄金贵。说它大，IC产业事关国民经济与国防安全，是一个先导性、战略性产业。

    自主创新 培育产业集群

    “我们可以生产IC产品，但我们现在全部依靠进口IC设备。如果IC装备业不能依靠自主创新尽快赶上来，我国IC产业只能是‘代代引进、代代落后’，总是受制于人。”沈阳IC装备创新产业园负责人郑广文这样介绍沈阳IC起步的背景。

    介入IC装备制造领域，沈阳不是最早的却是发展最快的。作为东北装备制造业基地，沈阳瞄准国际IC产业及其装备产业向中国转移的发展契机，将IC装备制造作为老工业基地产业升级的着力点加以推动发展，并于2004年率先建立了全国第一个IC装备制造产业基地，2005年建设了沈阳IC装备创新产业园，并编制了发展IC装备产业的“十一五”规划。

    目前，沈阳IC装备产业基地聚集了中科仪、芯源半导体、新松机器人、博微公司等涵盖IC装备产业链上多数环节的30多家IC装备厂商，产业园区也从最初的零部件加工、子系统研制发展到单元、整机制造全面发展格局，产业集群已经初步形成。各企业之间优势互补、通力合作，在超真空获得系统、成膜设备、匀胶显影机、真空洁净机器人、超洁净真空泵和高精度零部件加工等方面取得了重要突破，其中匀胶显影设备使国内技术水平提升了3个产品代，达到国际先进水平，另有多项产品填补国内空白。

    从科技成果来看，由沈阳芯源微电子设备有限公司研制的12英寸晶圆先进封装设备通过严格的工艺检测验收，已正式投入生产使用。这是国内首台12英寸芯片制造设备，是国产IC装备在晶圆尺寸和新工艺应用上的重大突破。2007年6月，沈阳IC装备产业基地被国家认定为全国中小企业技术服务项目试点产业集群之一，是全国惟一的IC装备产业集群试点。

    发挥优势  实现错位发展

    IC装备产业林林总总，全面突破技术瓶颈并顺利实现产业化，靠任何一个城市的单兵突进都是不可能完成的任务。沈阳IC产业的跨越式发展得益于“发挥比较优势错位发展”的思路。

    早在“十五”期间，北京市和上海市就在刻蚀机、离子注入机和光刻机三项IC装备研发领域加大投入，并争取到国家专项资金近10亿元。IC装备核心技术的突破，依然面临技术瓶颈下移的掣肘，真空泵、阀门、机械手等基础单元部件依然全部依赖进口。而在这些环节，沈阳IC装备产业却积累了很多研发力量并取得了相应的技术成果，比如IC产业必需的真空技术、自动化技术、特种工艺等方面沈阳具有得天独厚的条件。

    沈阳拥有我国惟一的国家真空仪器装置工程技术研究中心、惟一的真空专业博士点，拥有我国机器人研究开发的顶尖机构(中科院沈阳自动化所)、拥有较早研制生产半导体器件和集成电路的研究所(东北微电子研究所)，同时还拥有IC装备应用材料的技术支撑机构————中科院沈阳金属研究所。沈阳IC产业因而得到了协调发展，不仅有能力实现以上单元部件自给自足，同时为建设我国最大的IC装备单元部件制造基地做好了技术准备。正因如此，沈阳与北京、上海的IC装备产业基地相比起步晚、规模小，但发展势头非常强劲，用两年的时间迅速跻身于我国IC装备产业基地之列，迎来了历史性的发展机遇。2006年1月，中国工程院信息装备制造业调研组到沈阳调研时给予中肯评价：北京、上海、沈阳是全国IC装备方面最具优势的地域，沈阳IC装备产业已和北京、上海形成三足鼎立之势。

    即便如此，沈阳依然有很强的紧迫感。沈阳浑南新区、沈阳国家高新技术开发区管委会主任黄凯介绍说，IC产品、IC装备全球市场需求每年都有上千亿美元，然而无论是我国IC装备产业的规模还是技术水平，与世界先进水平都存在较大差距。国外12英寸晶圆设备已经成熟，我国8英寸晶圆设备仍在试制阶段，70%以上的8英寸生产线采购的是二手设备，还没有真正形成核心产品和关键技术的开发能力，没有能与跨国公司抗衡并不断促进产业升级的龙头企业。高端IC装备与材料完全依赖进口、制造工艺自主创新能力不足的局面亟待扭转，设备材料等的高门槛严重制约着产业可持续发展能力和市场核心竞争力的建立。

    整合资源  打造产业价值链

    从全球范围来看，IC装备制造业集中度很高，1%的企业占据着90%以上的市场份额，因此“强者恒强”是这一行业的基本特征。

    建设完整的集成电路产业链对于我国的经济安全来说十分必要。面对IC产业的技术封锁和知识产权壁垒，IC设备的国产化取得突破性进展必须有新的途径、新的思路。郑广文说：“引进国外智力、国际厂商并使其本地化是IC装备制造业国产化的一个重要途径。另外，国内厂家应该与国际大厂商加强合作，借助对方在渠道、技术和品牌等方面的优势。”在高端人才引进方面，沈阳浑南新区不求所有，但求所用，以政策扶持、金融支持的吸引力，凝聚了众多国内外优秀企业的领军人物，吸引了一批优秀的海外技术专家。在企业引入上，浑南新区注重大企业大项目的牵动作用。

    由于我国IC装备企业还多数处于起步阶段，有一个良好的孵化、破壳、成长环境至关重要。作为目前国内惟一的IC装备专业孵化器，沈阳IC装备产业(孵化)园千方百计为IC装备企业的孵化、发展提供完善的服务体系和技术支撑，现已建立了市场开发和公共技术研发两大中心和零部件公共检测、公共洁净环境装配以及零部件加工三大平台，为沈阳IC装备产业集群内企业提供必须的公共技术服务，解决企业成长、发展的共性问题。园区企业在公共技术研发和攻关合作上互相支持，已开展一系列项目合作。比如，芯源公司、科仪公司与博微公司联合研发IC装备公共控制软件平台，新松公司与芯源公司联合开发真空机械手，沈阳先进制造技术产业发展公司与中科院沈阳自动化所联合开发SRP系统。

    《国家中长期科学和技术发展规划纲要(2006—2020年)》已经把核心电子器件、高端通用芯片及大规模集成电路制造技术及成套工艺等列为重大专项；在国家发改委、信息产业部、科技部共同发布的《我国信息产业拥有自主知识产权的关键技术和重要产品目录》中，多项内容都涉及IC与元器件等基础电子产品。

    即将出台的《鼓励软件产业和集成电路产业发展的新政策》，包括国家中长期科学和技术发展规划相关的集成电路技术两大重大科技专项，是我国IC产业发展史上又一重大政策措施。它不仅引导我国IC技术创新及其进步，建立自主知识产权的创新体系，进而对资金、人才等资源集聚，推动创业投资，扎实打造起我国IC创新产品开发及其产业化的整个价值链都起着不可或缺的作用。