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微光机械系统助您突破数字光处理器功率瓶颈

　　美国特拉华大学的工程师近日宣布，他们解决了妨碍数字光处理器(DLP)在功率敏感的领域获得普及应用的功率问题。

　　DLP通常采用微机电系统(MEMS)来控制微透镜阵列的角度。然而，对于像空间探测这样的功率敏感应用，即使调整微透镜倾斜度的微放大器，其功耗都大到让DPL无法使用。

　　今年美国国家科学基金会CAREER奖金得主、特拉华大学工程系教授Balaji Panchapakesan宣布，利用微光机械系统(MOMS)解决了这个问题。MOMS利用激光来激励倾斜的、微小的反射镜悬臂，取代了用电流为气体、压电或静电执行机构供电的传统方法。

　　一种活性光纳米管薄膜使得MOMS能够通过超低激光来激励，从而不必采用消耗功率的电流激励方法。研究人员表示，对于空间探测和场致显示及生物医学扫描仪这样的新应用，其功耗足够低了。

　　该技术利用标准的CMOS工艺步骤形成了一层碳纳米管薄膜图案，由它制成了300×30×7um的光激励悬臂阵列。当其基座由808nm波长、170mW半导体激光照射的时候，这些悬臂会偏离23um。

　　Panchapakesan表示，他们已经积累了直接在纳米管上形成薄膜的经验。特拉华大学已经获得了该技术的临时专利权。

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  来源：电子工程专辑

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