公司名称：成都普斯特电气有限责任公司
所属类别：电源产品分类>>逆变电源(DC/AC)
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更新时间：2007-11-9 10:19:34

I、MF磁过滤等离子体源电源系统
主要用途
　　MF磁过滤等离子体源电源是为磁过滤等离子体源专门配套设计的专用电源系统，它包括直流电弧电源、磁过滤管偏压电源、导向磁场激励电源和聚焦磁场电源、引弧接口，共装于一个机柜内。各电源的监测仪表、控制按钮、调节电位器等位于同一机柜前面板上，便于操作和监测。主要用于高级成膜设备和等离子体浸没式离子注入设备。该专用成套电源全部采用高频逆变技术，具有体积小、效率高、重量轻的特点，并且参数稳定，稳流、稳压精度高，完全能满足产生高质量、高稳定度等离子体源的要求。
主要参数
　　 1. 直流弧电源
　　　 (1)具有手动/自动引弧功能
　　　 (2)空载电压≥80V，工作电压10～50V
　　　 (3)自动稳流，稳流精度1%
　　　 （4）最大工作电流200A
　　 2. 导向磁场激励电源
　　　 (1)工作电压5～50V
　　　 (2)自动稳流，最大工作电流30A
　　 3. 过滤管偏压电源
　　　 (1)工作电压3～30V，自动稳压
　　　 (3)最大工作电流60A
　　 4. 聚焦磁场激励电源
　　　 (1)工作电压10～100V
　　　 (2)自动稳流，最大工作电流15A

II、ECR微波等离子体源电源系统
主要用途
　 ECR微波等离子体源电源系统是专门为利用微波激励的ECR等离子体源而设计，包括阳极电源、灯丝电源和磁场激励电源。电源全部采用高频开关逆变技术，具有体积小、重量轻、效率高的特点。其参数稳定，具有自动稳压或自动稳流功能，参数稳定度高，集成在一起后，操作方便，观测直观。该电源及配套的微波管、等离子体激励腔及引出磁场配合，可产生低气压、高密度、大面积均匀的气体等离子体源，广泛应用于PECVD、等离子体活化、等离子体聚合、等离子体清洗、等离子体浸没式离子注入等。
主要参数
　　1. 阳极电源
　　　（1）输出电压：3.5～4.5kV，自动稳压，稳压精度1%
　　　（2）输出电流：0～300mA
　　2. 灯丝电源
　　　（1）输出电压：3～30V
　　　（2）输出电流：5～15A，自动稳流，稳流精度1%
　　3. 磁场电源
　　　（1）输出电压：0～100V
　　　（2）输出电流：20～100A，自动稳流，稳流精度1%
　
III、激光电源及控制系统
主要用途
托卡马克等离子体参数诊断
主要参数
　　 1．振荡级储能电容：100～120μF/2000V　 8组充电电压　1100V～1300V
　　 2．放大级储能电容： 600μF/2000V　 8组充电电压　3000V～4000V
　　 3．振荡级晶闸管:　 IF≥300A　　 VRM≥2000V
　　 4．放大级晶闸管:　 IF≥2000A　　VRM≥4500V
　　 5．充电时间:　　　 ≤200S
　　 6．振荡级放电脉冲滞后时间(滞后于放大级) 10～500μs
　　 7．电容器组间放电间隔:　 3～1000 ms
　　 8．第一放电脉冲延时:　　 200～999 ms
　　 9．电容充、放电电压误差：　　≤±1%
系统功能：
　　 1.电源充放电控制器的相应状态以及充电进程由计算机控制显示；
　　 2.控制计算机有电容器组间放电间隔和第一放电脉冲延时两项参数的设置优先
　　　 权；
　　 3.控制计算机与电源充放电控制器通过串口进行通讯，通讯距离50～100m；
　　 4.能实现单级放电(仅振荡级或放大级)、单脉冲放电或8脉冲放电；
　　 5.具有充电电压、充电时间、放电时间间隔、延迟时间、单级放电/两级放
　　　 电以及脉冲放电方式（单脉冲/8脉冲）显示；
　　 6.具有系统工作状态显示：充电、放电、触发（手动/远程）、电容清零、通
　　　 讯、标定；
　　 7.提供电压、电流测量接口；
　　 8.有放电电压监测及报警

Ⅳ、等离子体行波管阳极电源
主要参数
1.输出电压：20kV～30kV连续可调
2.最大脉冲电流：5A
3.输出脉宽：5μs～1ms
4.占空比：1/1000～1/100
5.脉冲输出电压顶降：＜1%
6.输出电压脉动（直流）：＜1%
7.每个脉冲重复电压稳定度（平顶）：＜1%
8.脉冲上升和下降时间：＜5μs
9.可单脉冲工作，脉冲宽度：5μs～1mS
10.能直流工作，工作电流 0～1A
11.连续工作时间：≥12小时
12.具有输出短路保护及自恢复功能
13.通用接口：由逻辑电平控制电源的接通、关断及工作方式选择（单脉冲
　 工作方式、连续脉冲工作方式或直流工作方式）；由模拟量控制电压、
　 调节脉宽和占空比。
14.提供DC+15V、200mA, DC-15V、200mA直流稳压电源
保护措施：
（1）提供阳极过流保护脉冲、电源在接到保护脉冲后10μs内关 断。
（2）电源内部两级保护。
（3）保护电流：0.1A～1A（电位器可调）。
（4）保护延迟时间：0～500μs（电位器可调），阳极接地。