B系列偏压电源
产品详情
B系列逆变偏压电源主要用于多弧离子镀膜、磁过滤电弧离子镀膜、直流磁控溅射镀膜、非平衡磁控溅射镀膜和孪生靶中频磁控溅射镀膜、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)等。主要作用包括:被镀工件表面的辉光放电清洗、镀膜前的离子轰击、镀膜时的离子加速等。合理选用偏压电源可以有效地抑制工件表面打火,明显提高镀件的成品率、表面光洁度和膜基结合力。B系列偏压电源是传统直流偏压电源的更新换代产品。
主要特点
1.采用先进的开关电源技术,具有体积小、效率高、运行稳定、噪声低、对
电网干扰小等优点。B系列偏压电源在节能和镀膜工艺的稳定性上显示出明
显的优势。
2.具备自动稳压功能,可在电网电压和负载波动情况下,保证电源高效、稳
定地工作,充分保证镀膜工艺的重复性。
3.针对实际工作时存在的频繁打火现象,设计了多重实用保护措施。B系列电
源能在频繁打火时充分保护电源及生产工件不被损坏,并且能连续稳定地
工作。
4. 直流/脉冲电压、脉冲宽度、脉冲频率等均能在面板上方便地调节。
Ⅰ、BD 直流偏压电源
主要特点
输出为直流,具有稳压功能。电源操作简单、价格便宜。
主要参数
工作电压可分A、B两档,每一档内的电压连续可调、自动稳压,稳压精度1% 。
A:100~1000V
B:50~500V
主要规格
按输出功率分为2kW、5kW、10kW、20kW、30kW、50kW、70kW、100kW等。
II、BP单极脉冲偏压电源
主要特点
输出为单极脉冲,具有脉冲幅值稳压功能。使用本电源能明显减少工件打火,通过调节脉冲频率及占空比可控制成膜温度,增加膜基结合力,提高沉积速率。
主要参数
工作电压可分A、B两档,每一档内的电压连续可调,脉冲上升、下降快,脉冲幅值稳定:
A:100~1000V
B:50~500V
脉冲频率:40kHz~80kHz (连续可调或定频)
脉冲占空比:10%~80% 连续可调
主要规格
按输出功率分为 2kW、5kW、10kW、20kW、30kW、50kW、70kW、100kW等。
III、BDP直流叠加脉冲偏压电源
主要特点
可方便地在带载情况下通过调节直流电压和脉冲电压实现直流、单极脉冲和直流叠加脉冲三种偏压模式。配合脉冲频率和占空比调节,可控制成膜温度,增加膜基结合力,提高沉积速率。本电源特别适用于低温高速沉积和高品质镀膜系统。
主要参数
负脉冲工作电压可分A、B两档,每一档内的电压连续可调、脉冲上升、下降快,脉冲幅值稳定:
A:100~1000V
B:50~500V
直流电压:20V~200V连续可调、自动稳压,稳压精度1%
脉冲频率:40kHz~80kHz (连续可调或定频)
脉冲占空比:10%~80% 连续可调
主要规格
按输出功率分为5kW、10kW、20kW、30kW、50kW、70kW、100kW等。
IV、 BBP系列双极脉冲偏压电源
主要特点
正偏压脉冲的使用能中和绝缘膜层上的电荷积累,正负脉冲占空比独立可调,明显减少工件打火,本电源特别适用于镀介质膜层和高品质膜层。
主要参数
负脉冲工作电压可分A、B两档,每一档内的电压连续可调,脉冲上升、下降快,脉冲幅值稳定:
A:100~1000V
B:50~500V
正脉冲电压:10V~100V, 连续可调 脉冲幅值稳定
正负脉冲频率:40kHz~80kHz (连续可调或定频)
正负脉冲占空比:10%~80% 独立连续可调
主要规格
按输出功率分为5kW、10kW、20kW、30kW、50kW、70kW、100kW等。
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